Brusni kotači u proizvodnji silikonskih pločica

Mljevenje ima ključnu ulogu u proizvodnji silicijskih pločica. Tržišna potraga za kvalitetnijim, isplativijim silicijskim pločicama predstavlja značajne izazove za brusne ploče koje se koriste u ovoj industriji. Ovi kotači moraju zadovoljiti rigorozne standarde, kao što su minimalno oštećenje površine, mogućnost samostalnog obrađivanja, ujednačena izvedba, produljeni životni vijek i pristupačnost. Ovaj rad nudi sveobuhvatan pregled literature s fokusom na brusne ploče koje se koriste u proizvodnji silicijskih pločica. Istražuje najnoviji napredak u abrazivima, vezivnim sredstvima, stvaranju poroznosti i geometrijskom dizajnu brusnih ploča kako bi se ispunili ovi zahtjevni kriteriji.

Poluvodiči na bazi silicija sastavni su dio raznih aplikacija, uključujući računalne sustave, telekomunikacije, automobilsku industriju, potrošačku elektroniku, industrijsku automatizaciju i sustave upravljanja te obrambene tehnologije.

Put do proizvodnje vrhunskih silicijskih pločica počinje rastom ingota silicija, koji zatim prolaze kroz niz postupaka kako bi postali pločice. Tipični koraci su sljedeći:

Rezanje-Rezanje ingota silicija u tanke pločice u obliku diska;

Ravnanje (lepanje ili brušenje)-Poboljšanje ravnosti oblatni;

Bakropis-Kemijskim putem otkloniti oštećenja nastala rezanjem i ravnanjem;

Poliranje-Postizanje glatke površine na oblatnama;

Čišćenje-Uklanjanje sredstava za poliranje ili prašine s površina napolitanki.

Brušenje služi ne samo kao primarna metoda za ravnanje žičano piljenih pločica, već i kao tehnika za fino brušenje jetkanih pločica. Cilj fino brušenih ugraviranih pločica je poboljšati ravnost pločica prije nego uđu u fazu poliranja, smanjujući količinu materijala uklonjenog tijekom poliranja. To dovodi do povećane učinkovitosti u procesu poliranja i poboljšane ravnosti u konačnim poliranim pločicama.

Brušenje također nalazi primjenu u stanjivanju potpuno obrađenih pločica uređaja prije njihovog rezanja na pojedinačne komadiće. Rastuće tržište za tanke i fleksibilne silikonske čipove, poput onih koji se koriste u pametnim karticama i RFID pametnim naljepnicama, zahtijeva sofisticiranije tehnike brušenja.